Synonymer:

FOSFORSYRE TRIS(TRIMETYLSILYL) ESTER;TIMTEC-BB SBB001292;TRIS(TRIMETYLSILYL)FOSFAT;Fosforsyre, TMS;Fosforsyre, tristrimetylsilyl;Fosforsyre, triTMS;Silanol,trifametyl, 3-metyl, trifametyl, 1; ,fosfat(3:1)

Kanoniske SMIL:C[Si](C)(C)OP(=O)(O[Si](C)(C)C)O[Si](C)(C)C

Tetthet:0,945 g/ml ved 25 °C (lit.)

Kokepunkt:228–229 °C720 mmHg(lit.)

Brytningsindeks:n20/D1.409(lit.)

Flammepunkt:76 °F

Smeltepunkt:3-4 °C (lit.)

PKA:23–25 (ved 25 ℃)

Utseende:væske

Farekoder:F,Xi

Risikoerklæringer:11-36/37/38

Sikkerhetserklæringer:16-26-36

Transportere:FN 1993 3/PG 2

WGK Tyskland:2

Fareklasse:3.2